案例介绍

项目概述

       半导体产业飞速发展的当下，洁净的生产环境是保障产品质量的关键。近期，位于北京市大兴区的半导体洁净室改造项目成功交付，该项目总建筑面积约为5700㎡，建筑共3层，1-2层为设备生产车间，3层为办公区域。

       本次改造涵盖空调及净化系统、供配电系统、钢结构系统等多个关键领域，尤其在空调及净化系统的设计与搭建上，充分结合半导体生产的高要求，打造出高效、节能且稳定的系统方案。

运用方案

       在热源供应方面，项目充分考虑季节变化因素，实现灵活切换。供热季利用园区现状市政蒸汽，专门设置2台板式换热器，一次侧接入现状减压后的0.2MPa蒸汽管道，二次侧供回水温稳定控制在60/50℃，确保冬季生产环境的温暖适宜。过渡季节则启用新增的风冷热泵机组供热，供回水温保持在55/50℃，满足季节交替时的温度需求。同时，热水系统配置3台水泵，采用2用1备的模式，保障热水供应的连续性与可靠性。

       冷源系统是维持洁净室低温环境的核心。项目新增2台华奕螺杆式风冷冷水机组和1台华奕螺杆式风冷热泵机组，为洁净室提供 6/12℃的低温冷冻水。在制冷工况下，运行2台机组，且机组总装机容量与计算冷负荷的比值不大于 1.1，实现高效节能运行。为确保工艺生产的可靠性及连续性，其中1台风冷冷水机组作为备用，应对突发情况。此外，项目还设置2台板换换热器，为百级区提供 13/19℃的中温冷水，满足不同区域的精准控温需求。在水循环方面，低温冷冻水系统配置3台水泵，采用2用1备模式，且冷水机组和水泵设置台数控制，可根据实际负荷调整运行设备数量；中温冷冻水系统配置2台水泵，采用1用1备模式，双重保障冷源供应稳定。

       针对半导体洁净室不同区域的洁净度要求，项目采用差异化的空调系统设计。十万级区采用华奕 MAU（新风机组）+RCU（循环风机组）机组形式，通过高效的空气处理与循环，维持区域内的洁净度与温湿度稳定；百级区作为更高洁净度要求的区域，采用华奕 MAU+FFU（风机过滤单元）+DCC（干盘管）机组形式，进一步提升空气净化效果，确保生产环境达到百级洁净标准，为高精度半导体生产提供有力支撑。

实现效果

       该方案的空调系统由我司全程集成交付，从冷热源系统到末端空调系统，实现了所有子系统之间的无缝衔接与最优匹配，避免了不同系统间协同不畅的问题，大幅提升整体系统的运行效率。同时，系统内置台数控制等智能策略，能够根据实际负荷自动调整设备运行状态，在保证洁净室环境效果的前提下，最大化降低能耗，减少企业运营成本。

      不仅如此，该系统通过风冷热泵的多工况协同应用，充分发挥设备在不同季节、不同负荷下的优势，提升能源利用率；末端空调的精准化、干湿分离设计，进一步优化了空气处理效果，既满足了半导体生产极高的工艺环境要求，又具备显著的节能效益和突出的创新价值，成功构建起现代化的洁净空调系统，也为行业内洁净室改造项目提供了可借鉴的优秀范例！